FT-391シリーズハンドヘルド式四プローブ角抵抗テスターの詳細

FT-391 Series handheld

four-probe resistance tester

Overviewの概要：

シリコンウェハ抵抗率測定の基準（ASTM F 84）を参照する。GB/T 1551-2009「シリコン単結晶抵抗率測定方法」、GB/T 1551-1995「シリコン、ゲルマニウム単結晶抵抗率測定直流両プローブ法」、GB/T 1552-1995「シリコン、ゲルマニウム単結晶抵抗率測定直流四プローブ法」、

集積回路の定電流源システム、充電式電源システム、上下限設定を収集する.

機能紹介Function

introduction：

手持ち式の外形構造は、作業場の生産、品質管理の抜き取り検査、外出して測定を携帯する場所に適している、中小型半導体材料の生産企業にも適用する.	パラメータ資料パラメータ：	仕様型式Specification model	FT-391A
FT-391B	FT-391C	1.ブロック抵抗範囲sheet resistance	10～2.00×102Ω/□
10～2.00×103Ω/□	10～2.00×104Ω/□	2.抵抗率範囲resistivity	1～2×103Ω-cm
1～2×104Ω-cm	1～2×105Ω-cm	3.解像度resolution	0.01Ω
0.01Ω	0.01Ω
4.示度displayを表示する	液晶表示：抵抗率、角抵抗、単位換算、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さLCD：resistivity. sheet resistance. unit conversion. current.
voltage. probe shape. probe spacing. thickness.	5.試験方式test mode
単電力測定single electrical measurement	6.動作電源working power
5V.1000mA	7.誤差errors

≦4.5%（標準サンプル結果standard

samples）

8.オプションchoose to buy	オプション1.方形プローブ、オプション2.直線状プローブ、プローブ間隔オプション3：プローブ間隔1 mm、2mm；3 mmの3種類の規格、オプション4：プローブ材質：タングステンカーバイド針、金めっき燐銅半球形針square probe、2. linear probe; 3.Optional	probe spacing: 1mm；2mm；3mm in	three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle.gilded copper hemispherical
needles.	FT-392 Series hand-held	four-probe tester	パラメータデータ
仕様モデルspecificationモデル	FT-392A	FT-392B	FT-392C
1.ブロック抵抗範囲sheet	resistance	0.1～2.00×102Ω/□	0.1～2.00×103Ω/□
0.1～2.00×104Ω/□	2.抵抗率範囲resistivity
range	0.01～2×103Ω-cm
0.01～2×104Ω-cm	0.01～2×105Ω-cm
3.解像度resolution	0.01Ω
0.01Ω	0.01Ω

4.示度displayを表示する液晶表示：抵抗率、角抵抗、単位換算、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さLCD：resistivity. sheet resistance. unit conversion. current.

voltage. probe shape. probe spacing. thickness

5.試験方式test mode

単電測定/single electrical measurement	6.動作電源working power	5V.1000mA	7.誤差errors
≦4.5%（標準サンプル結果standard	samples）	8.オプションchoose to buy	オプション1.方形プローブ、オプション2.直線状プローブ、プローブ間隔オプション3：プローブ間隔1 mm、2mm；3 mmの3種類の規格、オプション4：プローブ材質：タングステンカーバイド針、金めっき燐銅半球形針1.square probe、2. linear probe; 3.Optional
probe spacing: 1mm；2mm；3mm in	three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical	needles.	FT-393
シリーズハンドヘルドブロック抵抗試験器	FT-393 Series of	hand-held Square resistance tester	技術パラメータ資料
仕様モデルspecificationモデル	FT-393A
FT-393B	FT-393C
1.ブロック抵抗範囲sheet resistance	0.01～2.00×102Ω/□
0.01～2.00×103Ω/□	0.01～2.00×104Ω/□
2.抵抗率範囲resistivity	range 0.001～2×103Ω-cm

0.001～2×104Ω-cm0.001～2×105Ω-cm

3.解像度resolution

0.001Ω

0.001Ω	0.001Ω	4.示度displayを表示する	液晶表示：抵抗率、角抵抗、単位換算、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さLCD：resistivity. sheet resistance. unit conversion. current.
voltage. probe shape. probe spacing. thickness	5.試験方式test mode	単電力測定single electrical measurement	6.動作電源working power
5V.1000mA	7.誤差errors	≦4.5%（標準サンプル結果standard	samples）
8.オプションchoose to buy	オプション1.方形プローブ、オプション2.直線状プローブ、プローブ間隔オプション3：プローブ間隔1 mm、2mm；3 mmの3種類の規格、オプション4：プローブ材質：タングステンカーバイド針、金めっき燐銅半球形針1.square probe、2. linear probe;	3.Optional	probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe
material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles.	FT-394
シリーズハンドヘルド4プローブ抵抗率試験器	FT-394 Series hand-held
four-probe resistivity tester	技術パラメータ資料
仕様モデル	FT-394A
FT-394B	FT-394C 1.ブロック抵抗sheet resistance

0.001～2.00×102Ω/□

0.001～2.00×103Ω/□

0.001～2.00×104Ω/□

2.抵抗率resistivity range

0.0001～2×103Ω-cm

0.0001～2×104Ω-cm

0.0001～2×105Ω-cm

3.解像度resolution

0.001Ω

0.001Ω

0.001Ω

4.示度displayを表示する

液晶表示：抵抗率、角抵抗、単位換算、電流、電圧、プローブ形状、プローブピッチ、厚さLCD：resistivity. sheet resistance. unit conversion. current.

voltage. probe shape. probe spacing. thickness

5.試験方式test mode

単電力測定single electrical measurement

1.6.動作電源working power5V.1000mA

7.誤差machine uncertain

errors

≦4.5%（標準サンプル結果standard

samples）

8.オプションchoose to buy

オプション1.方形プローブ、オプション2.直線状プローブ、プローブ間隔オプション3：プローブ間隔1 mm、2mm；3 mmの3種類の規格、オプション4：プローブ材質：タングステンカーバイド針、金めっき燐銅半球形針1.square probe、2. linear probe;

3.Optional

probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.4.Select probe

material: tungsten carbide needle. gilded copper hemispherical needles.

適用範囲Widely

used：

1.カバーフィルム、導電性高分子膜、高、低温電熱膜、断熱、導電性窓膜導電性（遮蔽）布、装飾膜、装飾紙、金属化ラベル、合金系箔フィルム、溶融、焼結、スパッタ、コーティング、コーティング層、抵抗式、容量式タッチスクリーンフィルム、電極塗料、その他の半導体材料、薄膜材料の抵抗試験

2.シリコンウェハブロック、ウェハ抵抗率及び拡散層、エピタキシャル層、ITO導電箔膜、導電性ゴムなどの材料ブロック抵抗半導体材料/ウェハ、太陽電池、電子部品、導電性薄膜（ITO導電膜ガラスなど）、金属膜、導電性エナメル膜、蒸発アルミニウム膜、PCB銅箔膜、

3.EMIコーティングなどの物質のシート抵抗と抵抗率導電性塗料、導電性ペースト、導電性プラスチック、導電性ゴム、導電性フィルム、金属フィルム、

4.帯電防止材料、EMI保護材、導電性繊維、導電性セラミックスなど、

機能記述Description：

1.四プローブ単電気測定方法

2.液晶表示、自動測定、自動レンジ、自動係数補償。

3.集積回路システム、定電流出力.

4.中国語または英語の2つの言語操作インタフェースの選択を提供する

参照基準：

1.シリコンウェハ抵抗率測定の基準（ASTM F 84）。

2.GB/T 1551-2009「シリコン単結晶抵抗率測定方法」。

3.GB/T 1551-1995「シリコン、ゲルマニウム単結晶抵抗率測定直流両プローブ法」。

4.GB/T 1552-1995「シリコン、ゲルマニウム単結晶抵抗率測定直流四プローブ法」

動作原理と計算式

四プローブ法による薄層試料の角抵抗計算と試験原理は以下の通りである

：

直線4プローブ試験レイアウトは図8のように、隣接する針距離はそれぞれS 1、S2、S3,物理的基礎と電気的原理に基づいて：

電流が1、4プローブ、2、3プローブの試験電圧を通過する場合、以下のように計算する：

手順と流れ

1.電源を入れ、5分間予熱する.

2.プローブとテストプラットフォームを組み立てる。

3.必要なパラメータを設定する.

4.測定サンプル

5.データをエクスポートする.

利点の説明：

1.自動レンジ

2.正確な安定性

3.電気二重結合試験方法

4.標準抵抗校正装置

5.抵抗、抵抗率、導電性データを同時に表示する.

6.5桁の数字を表示することができる.

7.中国語と英語のインタフェース

一部のお客様事例

福建万龍ダイヤモンド工具有限公司

杭州晶鑫めっき膜包装有限公司

丹東海浩電子科技有限公司

杭州晶鑫めっき膜包装有限公司

華南理工大学

極東フォスター新エネルギー有限公司

南方科学技術大学

福建省泉州万龍実業有限公司

蘇州環明電子科技有限公司

1.石家荘武器学院天津儀恒達科技有限公司

2.南昌公瑾科技有限公司

株式会社ウッドフォレスト

3.北京瑞億斯科技有限公司

浙江納沛新材料有限公司

4.深セン市中科測儀電子科技有限公司

寧波エンマイ知能科学技術有限公司

5.北京慧遠偉業科学技術有限公司

中山市広衛消費設備有限公司

成都万成科学技術有限公司

河北徳凱鉄道信号器材有限公司

海南冷港科技有限公司

浙江世泰実業有限公司

南昌公瑾科技有限公司

上海蒙健実業有限公司

北京雪迪龍科技株式会社

芸奥品イメージング技術蘇州有限公司

安徽師範大学

広西興宏源科技有限公司

浙江立徳製品技術有限公司

株洲マグメット電気有限会社

江陰市中興光電実業有限公司

江蘇儀征電子管有限公司

北京思普特科技有限公司

東莞市塑高可塑化科学技術有限公司

赫禎新材料科技（上海）有限公司

サービス項目

品質保証：